Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники : Учеб. пособие для приборостроит. спец. вузов / А.А. Сазонов, Р.В. Корнилов, Н.П. Кохан и др.; Под ред. А. А. Сазонова, 1991. - 334 c. - Текст : непосредственный.