Зотович А.И. Деградация нанопористых диэлектриков в высокочастотной плазме и способы ее уменьшения : автореф. дис. .. канд. физ.-мат. наук: 01.04.15 / А. И. Зотович, 2018. - 22 с. - Текст : непосредственный.