Житяев И.Л. Конструктивно-технологические решения изготовления наноразмерных автоэмиссионных катодов на основе пленок мультиграфена на карбиде кремния : специальность 05.27.01 - Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / И. Л. Житяев, 2019. - 23 с. - Текст : непосредственный.
Светличный, Александр Михайлович. Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии : Учебное пособие / А.М. Светличный, 2017. - 104 с. с. (Введено оглавление). - Текст : электронный.
Светличный, Александр Михайлович. Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения : Учебное пособие / А.М. Светличный, 2018. - 96 с. с. (Введено оглавление). - Текст : электронный.
Приложение
для Android