Евгеньев, С. Б. Физико-химические технологии микроэлектроники : учеб. пособие. Ч. 3, 2008. - 65 с. с. - Текст : непосредственный.
Евгеньев, С. Б. Физико-химические технологии микроэлектроники : учеб. пособие. Ч. 2, 2008. - 63 с. с. - Текст : непосредственный.
Евгеньев, С. Б. Физико-химические основы технологии микроэлектроники : учеб. пособие. Ч. 1, 2008. - 70 с. с. - Текст : непосредственный.