Дзян А.С. Исследование закономерностей и разработка процессов плазмохимического травления кремнийсодержащих функциональных слоев МДП СБИС : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01 / А. С. Дзян, 1990. - 16 с. - Текст : непосредственный.